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兆驰半导体取得抽气防护装置专利,有效保障真空抽气系统的抽气效率

国家知识产权局信息显示,江西兆驰半导体有限公司取得一项名为“一种抽气防护装置”的专利,授权公告号CN224501886U,申请日期为2025年7月。

专利摘要显示,本实用新型提供一种抽气防护装置,用于安装在等离子体刻蚀机的真空管道与工艺腔室的连接处,抽气防护装置包括罩体以及沿罩体周向间隔设置的多个通气结构,通气结构包括沿罩体径向且由外向内依次设置的进气孔组、第一安装槽组以及第二安装槽,第一安装槽组包括多个第一安装槽,进气孔组包括多个进气孔,多个进气孔呈多层圆形阵列分布,其中部分进气孔与多个第一安装槽一一对应连通,其余进气孔与第二安装槽连通;其中,第一安装槽内设有第一滤网,第二安装槽内设有第二滤网,第二滤网的目数大于第一滤网的目数。本实用新型可以有效避免固态沉积物剥离后进入到真空管道内,有效保障真空抽气系统的抽气效率。

天眼查资料显示,江西兆驰半导体有限公司,成立于2017年,位于南昌市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本160000万人民币。通过天眼查大数据分析,江西兆驰半导体有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目20次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息1699条,此外企业还拥有行政许可62个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

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