国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“液源汽化系统”的专利，公开号CN122688400A，申请日期为2023年7月。

专利摘要显示，本发明提供一种液源汽化系统，应用于半导体工艺设备，包括：依次连通的液源管路、汽化装置和输出管路；液源汽化系统还包括：吹扫管路，与汽化装置连通；第一控制单元，用于控制吹扫管路与汽化装置连通或液源管路与汽化装置连通；尾气处理单元，与汽化装置连通；第二控制单元，用于控制尾气处理单元与汽化装置连通或输出管路与汽化装置连通；第一流量计，用于控制液态工艺介质的流量；第一旁通管路，与进液管路和尾气处理管路连通；以及旁通控制单元，控制第一流量计与汽化器或第一旁通管路连通。本发明的液源汽化系统通过设置第一旁通管路和旁通控制单元，可以保证在第一流量计80维护和更换过程中操作人员的安全。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1499次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5930条，此外企业还拥有行政许可341个。

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来源：市场资讯