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华力微电子取得传送轴防护装置及炉管设备专利,改善传送轴的受热现象

国家知识产权局信息显示,上海华力微电子有限公司取得一项名为“传送轴防护装置及炉管设备”的专利,授权公告号CN223869818U,申请日期为2025年2月。

专利摘要显示,本实用新型涉及半导体制造技术领域,提供了一种传送轴防护装置及炉管设备,传送轴防护装置包括:防护件和基体;所述防护件连接于所述基体,所述防护件与所述基体之间具有用于安装传送轴的安装空间。通过传送轴防护装置的设置,可以对传送轴起到防护隔热的作用,以改善上述传送轴的受热现象。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

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