国家知识产权局信息显示,盛吉盛半导体科技(北京)有限公司申请一项名为“一种用于RPO设备氢氧混合的安全控制系统及方法”的专利,公开号CN121439661A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明公开了一种用于RPO设备氢氧混合的安全控制系统及方法,其属于半导体制造技术领域,所述安全控制系统包括反应腔室、点火腔室和主控模块,点火腔室内设有点火组件,反应腔室的出口处设有排气管路,反应腔室的入口与点火腔室的出口相连通,点火腔室的入口处设有进气管路,排气管路内设有第一监测点,进气管路或点火腔室内设有第二监测点,主控模块用于获取第一监测点处的第一压力和第二监测点处的第二压力,控制进气开关的开闭状态和点火组件。本发明通过第一压力和第二压力综合对进气开关和点火组件进行控制,从而避免氢气和氧气进入点火腔室内点火时压力过大导致出现爆炸风险,有效保障人员与设备安全,消除安全隐患,从而提高半导体制造的效率和经济效益。
天眼查资料显示,盛吉盛半导体科技(北京)有限公司,成立于2021年,位于北京市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本28000万人民币。通过天眼查大数据分析,盛吉盛半导体科技(北京)有限公司参与招投标项目28次,专利信息135条,此外企业还拥有行政许可7个。
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来源:市场资讯