国家知识产权局信息显示，江苏凯威特斯半导体科技有限公司申请一项名为“适用于多种基材的等离子防护复合涂层及制备方法”的专利，公开号CN121270291A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明涉及一种适用于多种基材的等离子防护复合涂层及其制备方法，属于半导体制造和表面工程技术领域。所述复合涂层包括依次沉积在基材表面的第一层和第二层含钇陶瓷涂层。第一层为通过热喷涂工艺沉积的微米结构陶瓷层，第一层制备后降低表面粗糙度至0.5μm以内，第二层为通过真空冷喷涂工艺沉积的纳米结构陶瓷层。本发明结合热喷涂的厚膜成形能力与冷喷涂的致密纳米结构优势，先采用热喷涂的方法在基材表面制备一层含钇涂层，降低其表面粗糙度至0.5μm以内后再使用真空冷喷涂方法在其表面制备一层含钇涂层，制备得到的复合涂层不仅具有较好的耐刻蚀性能，还能适用于不同的基材，且本发明的涂层较薄，大大降低了涂层制备成本。

天眼查资料显示，江苏凯威特斯半导体科技有限公司，成立于2019年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本11940.3万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏凯威特斯半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息85条，此外企业还拥有行政许可47个。

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